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產(chǎn)品概述：
CYS-E電子級(jí)光譜濃度儀系列產(chǎn)品采用分體式設(shè)計(jì)，主要由濃度傳感器和多功能主機(jī)組成，采用光譜連續(xù)掃描方式，通過傳感器采集介質(zhì)的光譜圖像，多功能主機(jī)內(nèi)置建模、分析、顯示和信號(hào)輸出等功能，適用于泛半導(dǎo)體行業(yè)濕電子化學(xué)品的濃度檢測(cè)。
傳感器采用超純PFA/PTFE流通池結(jié)構(gòu)結(jié)合大面積藍(lán)寶石光學(xué)棱鏡，通過長(zhǎng)期技術(shù)積累和攻關(guān)研發(fā)，解決了半導(dǎo)體行業(yè)濕電子化學(xué)品濃度在線測(cè)控類產(chǎn)品的“卡脖子”問題。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
高精度，SEMI G5級(jí)，耐高溫，長(zhǎng)壽命光源，光強(qiáng)自動(dòng)調(diào)節(jié)。
應(yīng)用領(lǐng)域：
氧化工藝：硫酸/雙氧水、氫氟酸、氫氧化銨/雙氧水/水、異丙醇等濃度分析；
蝕刻工藝：氫氟酸/甲氧基甲醇、氫氟酸、硝酸、硫酸、氟化銨、鹽酸、乙酸、磷酸等濃度分析；
剝離工藝：抗蝕劑剝離液、聚合物去除化學(xué)溶液、低濃度氫氟酸/稀硫酸/過氧化氫、低濃度氫氟酸/鹽酸/氨水等濃度分析；
鍍銅及平整化工藝：低濃度硫酸、雙氧水，低濃度氫氟酸中的溶解氧、稀硫酸/過氧化氫、鹽酸/氨水等濃度分析。
| 技術(shù)參數(shù)/Technical sheet | |
| 測(cè)量項(xiàng)目 | 吸光度、濃度、溫度 |
| 測(cè)量范圍 | 最小量程：0 至 0.05 CU 最大量程：0 至 3.0CU 最小量程：0 至 10ppm 最大量程：0 至 99% |
| 光程范圍 | 1 至 50mm（可定制） |
| 波長(zhǎng)范圍 | 200 至 2500nm |
| 重復(fù)精度 | ＜±0.5%，與量程有關(guān) |
光 源 | 氙燈或鎢燈 光源壽命≥30000小時(shí) |
| 測(cè)量時(shí)間 | 5 至 60秒 |
| 環(huán)境溫度 | -20℃ 至 +50℃ |
| 過程溫度 | -30℃ 至 +150℃（特殊溫度可定制） |
| 光學(xué)窗口 | 光學(xué)級(jí)藍(lán)寶石 |
| 關(guān)鍵材質(zhì) | 觸液面材質(zhì)：超純PTFE、PFA；外殼：不銹鋼 |
| 輸入電源 | DC 24V 或 AC 220V |
| 信號(hào)輸出 | DC 4 至 20mA；RS485；2 至 4 路開關(guān)量信號(hào)輸出 |
| 防爆等級(jí) | 傳感器：本安型ExiaIICT6Ga |
| 防護(hù)等級(jí) | IP65 |
| 工藝壓力 | ≤1.0 MPa (更高耐壓需要定制) |
| 過程連接 | 3/4英寸管路安裝 |
| 標(biāo)定校準(zhǔn) | 內(nèi)置在線建模軟件，根據(jù)理化數(shù)據(jù)標(biāo)定校準(zhǔn) |
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| CYS-E電子級(jí)光譜濃度儀產(chǎn)品尺寸 |
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| 多功能主機(jī)尺寸 |
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| 旁路管道安裝方式 |
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| 儲(chǔ)罐、液槽循環(huán)管道安裝方式 |
